Imec 展示首次利用 EUV 光刻技術實現的固態奈米孔的晶圓級製造
這一突破為生命科學和醫療保健領域的可擴充套件、高精度生物感測應用賦能 比利時魯汶2025年12月10日 /美通社/ — Imec 成功實現了首次在 300 毫米晶圓上利用 EUV 光刻技術進行固態奈米孔的晶圓級製造。這項創新將奈米孔技術從實驗室規模的概念,轉化為用於生物感測、基因組學和蛋白質組學的可擴充套件平臺。 奈米孔被譽為基因組學和蛋白質組學的顛覆性技術,但直到現在,由於變異性和整合方面的挑戰,固態奈米孔從未實現大規模生產。Imec 的突破為高通量、CMOS 相容的生物感測器陣列鋪平了道路,這有望加速個性化醫療、快速診斷和分子資料儲存的發展。 利用 EUV 光刻技術在 300 毫米晶圓上進行晶圓級奈米孔製造,其孔徑小至約 10 奈米,且在整個晶圓上具有高度一致性。該製造製程顯示出有望透過進一步增強製程整合技術,實現小於
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